6.1.1 物料準(zhǔn)備區(qū)、裝配區(qū)、測試與調(diào)試區(qū)、封蓋區(qū)、環(huán)境試驗(yàn)區(qū)、分析區(qū)、檢驗(yàn)包裝區(qū)內(nèi)的設(shè)計(jì)應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50472的有關(guān)規(guī)定。
6.1.2 生產(chǎn)廠房防靜電設(shè)計(jì)應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《電子工程防靜電設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50611和《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50073的有關(guān)規(guī)定。
6.1.3 防靜電工作區(qū)域工作臺、貨架等宜采用間接靜電接地，設(shè)備、儀器宜采用直接靜電接地。
6.1.4 生產(chǎn)車間空氣潔凈度等級應(yīng)根據(jù)具體產(chǎn)品確定，封蓋前的微波集成組件應(yīng)在潔凈度等級8級或優(yōu)于8級的潔凈環(huán)境中裝配。
6.1.5 生產(chǎn)車間中潔凈區(qū)溫度宜為23℃±3℃，相對濕度宜為40％～70％。
6.1.6 生產(chǎn)車間供電配電應(yīng)滿足配置設(shè)備要求。
6.1.7 生產(chǎn)所需氣體應(yīng)包括氧氣、氮?dú)?、氦氣、氬氣、壓縮空氣、氮?dú)浠旌蠚獾?，并?yīng)符合下列規(guī)定：
1 壓縮空氣壓力宜為0.6MPa～0.7MPa，露點(diǎn)在0.7MPa時(shí)宜低于－40℃；
2 高純氮?dú)鈮毫σ藶?.4MPa～0.7MPa，氣體純度宜為99.999％；
3 純氮壓力宜為0.4MPa～0.7MPa，氣體純度宜為99.99％；
4 高純氦氣壓力宜為0.4MPa～0.7MPa，氣體純度宜為99.999％；
5 高純氧氣壓力宜為0.4MPa～0.7MPa，氣體純度宜為99.999％；
6 高純氬氣壓力宜為0.4MPa～0.7MPa，氣體純度宜為99.999％；
7 高純氮?dú)浠旌蠚怏w氣（N295％ H25％）壓力宜為0.4MPa～0.7MPa，氣體純度宜為99.999％。
6.1.8 高純氣體用氣點(diǎn)前應(yīng)設(shè)高效氣體過濾器。
6.1.9 工藝真空度宜優(yōu)于0.08MPa。
6.1.10 生產(chǎn)所需水路宜包括給排水、純水和工藝?yán)鋮s水，工藝?yán)鋮s水宜采用循環(huán)系統(tǒng)。
6.1.11 純水的水質(zhì)、水量、水壓應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝所需。
6.1.12 工藝?yán)鋮s水應(yīng)使用軟化水，使用端壓力宜為0.2MPa～0.3MPa。
6.1.13 生產(chǎn)過程中發(fā)熱量、發(fā)塵量大的生產(chǎn)工藝應(yīng)采取防擴(kuò)散措施。
6.1.14 生產(chǎn)車間應(yīng)配置壓差測試儀、溫濕度記錄儀、空氣微塵顆粒記錄儀等檢測設(shè)備。
6.1.2 靜電防護(hù)系統(tǒng)是廠房基本工藝條件配置。微波集成組件對于靜電放電比其他工廠更為敏感，微小的靜電放電電壓都可能對組件中的ESD敏感器件造成損傷。當(dāng)組件內(nèi)管芯靜電敏感等級為0級，靜電敏感電壓＜250V，工作區(qū)的防靜電等級要達(dá)到一級。
雖然金屬腔、薄膜、厚膜電路的清洗可不考慮靜電防護(hù)，但為產(chǎn)品安全，清洗區(qū)要考慮靜電防護(hù)。
同樣，金屬腔、薄膜、厚膜電路的準(zhǔn)備和齊套可不考慮靜電防護(hù)，但為產(chǎn)品安全，物料準(zhǔn)備區(qū)要考慮靜電防護(hù)。
6.1.5 生產(chǎn)車間的非潔凈區(qū)一般無濕度的具體要求，溫度一般要求是10℃～30℃。
