D.6.1 潔凈室(區(qū))的溫、濕度測試可分為一般溫、濕度測試和功能溫、濕度測試。
D.6.2 溫度測試可采用玻璃溫度計、電阻溫度檢測裝置、數(shù)字式溫度計等；濕度測試可采用通風干濕球溫度計、數(shù)字式溫濕度計、電容式濕度計、毛發(fā)式濕度計等。
D.6.3 溫度和相對濕度測試應在潔凈室(區(qū))凈化空調系統(tǒng)通過調試，氣流均勻性測試完成，并應在系統(tǒng)連續(xù)運行24h以上時進行。
D.6.4 應根據(jù)溫度和相對濕度允許波動范圍，采用相應適用精度的儀表進行測定。每次測定時間隔不應大于30min。
D.6.5 室內測點布置應符合下列原則：
    1 送回風口處。
    2 恒溫工作區(qū)具有代表性的地點(如沿著工藝設備周圍布置或等距離布置)。
    3 沒有恒溫要求的潔凈室中心。
    4 測點應布置在距外墻表面大于0.5m，離地面0.8m的同一高度上，也可以根據(jù)恒溫區(qū)的大小，分別布置在離地不同高度的幾個平面上。
D.6.6 溫、濕度測點數(shù)應符合表D.6.6的規(guī)定。

表D.6.6 溫、濕度測點數(shù)

D.6.7 有恒溫恒濕要求的潔凈室(房間)，應進行室溫波動范圍的檢測：并應測定并計算室內各測點的記錄溫度與控制點溫度的差值，分別統(tǒng)計小于或等于某一溫差的測點數(shù)占測點總數(shù)的百分比，整理成溫差累積統(tǒng)計曲線。當90％以上測點偏差值在室溫波動范圍內，應判定為合格。
D.6.8 區(qū)域溫度應以各測點中最低(或最高的)的一次測試溫度為基準，并應計算各測點平均溫度與上述基準的偏差值，分別統(tǒng)計小于等于某一溫差的測點數(shù)占測點總數(shù)的百分比，整理成偏差累計統(tǒng)計曲線，90％以上測點所達到的偏差值應為區(qū)域溫差。
D.6.9 相對濕度波動范圍及區(qū)域相對濕度差的測定，可按室溫波動范圍及區(qū)域溫差的測定規(guī)定執(zhí)行。